影響三維力傳感器鞏固性的因素包括傳感器的布局、彈性元件的金屬材質(zhì)、機(jī)加工及熱處分工藝，具體如下：
1、三維力傳感器的布局
三維力傳感器的彈性元件、外殼、膜片、上壓頭和下壓墊的計(jì)劃要包管布局在加載后沒(méi)有機(jī)能顛簸，大概機(jī)能顛簸非常小。所以，在計(jì)劃三維力傳感器時(shí)，要包管應(yīng)變區(qū)受力單純，應(yīng)力盡可能勻稱(chēng)。貼片片面應(yīng)平整；布局具有必然的抗偏載和側(cè)向載荷才氣；安裝力應(yīng)遠(yuǎn)離應(yīng)變區(qū)，測(cè)量時(shí)應(yīng)以免受力點(diǎn)挪動(dòng)。三維力傳感器固然是組裝產(chǎn)品，但為了包管良好的技術(shù)機(jī)能和永遠(yuǎn)鞏固性，應(yīng)盡可能計(jì)劃成整體布局。
2、彈性元件的金屬材質(zhì)
彈性元件的金屬質(zhì)料對(duì)三維力傳感器的概括機(jī)能和永遠(yuǎn)鞏固性起著環(huán)節(jié)好處。應(yīng)選定強(qiáng)度高、彈性有限、彈性模量的時(shí)間和溫度鞏固性好、彈性滯后小、機(jī)加工和熱處分產(chǎn)生的殘存應(yīng)力低的質(zhì)料。有質(zhì)料評(píng)釋?zhuān)灰慊鹳|(zhì)料的塑性好，機(jī)加工和熱處分后的殘存應(yīng)力非常小。還應(yīng)特別留意彈性模量隨時(shí)間的鞏固性，要求在三維力傳感器的應(yīng)用壽命內(nèi)質(zhì)料的彈性模量不發(fā)生變更。
3、機(jī)加工及熱處分工藝
三維力傳感器的彈性元件在加工歷程當(dāng)中，由于表面變形不勻稱(chēng)，產(chǎn)生較大的殘存應(yīng)力。切削量越大，殘存應(yīng)力越大，磨削歷程產(chǎn)生的殘存應(yīng)力越大。所以，應(yīng)訂定合理的加工工藝和得當(dāng)?shù)那邢髁俊椥栽跓崽幏謿v程當(dāng)中，由于金屬質(zhì)料的冷卻溫度不勻稱(chēng)和相變，在芯部和表層產(chǎn)生差別方向的殘存應(yīng)力。焦點(diǎn)是拉應(yīng)力，而表層是壓應(yīng)力。三維力傳感器應(yīng)該采用回火工藝，產(chǎn)生反方向的內(nèi)應(yīng)力，從而消除殘存應(yīng)力，削減殘存應(yīng)力的影響。
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