1.非線性誤差:這是一個對壓力傳感器的初始誤差影響很小的因素。錯誤的原因是硅芯片的物理非線性,但對于帶有放大器的傳感器,還應包括放大器的非線性,線性誤差曲線可以是凹曲線或凸曲線測力計。
2.偏移誤差:由于壓力傳感器的垂直偏移在整個壓力范圍內保持恒定,因此轉換器的擴散變化和激光調整校正將產生偏移誤差。
3.靈敏度誤差:誤差的大小與壓力成正比,如果設備的靈敏度高于典型值,則靈敏度誤差將是壓力的增加函數。如果靈敏度低于典型值,那么靈敏度誤差將是壓力的下降函數,該錯誤的原因是擴散過程的變化。
4.磁滯誤差:在大多數情況下,壓力傳感器的磁滯誤差可以完全忽略不計,因為硅芯片具有很高的機械剛度。通常,當壓力變化很大時,僅需要考慮磁滯誤差。
壓力傳感器的四個錯誤是不可避免的,我們只能選擇高精度的生產設備,使用高科技來減少這些誤差,還可以在工廠進行誤差校準,并嘗試盡可能減少誤差。因此在使用的時候不需要過多的在意,而是盡可能的減少這些誤差。